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低温真空泵概述：
所谓低温真空泵是一种利用低温冷凝和低温吸附原理抽气的集聚式真空泵，是无油高真空环境获得设备。
产品特点：
无油无污染，极纯净真空环境。
高极限真空，可达10-7Pa以上真空。
不需液氮，运行成本低。
操作简单，可任意方向安装。
安全方便，使用寿命长。
①启动粗抽泵。
②打开粗抽阀。
③当泵内压力到达40Pa时，关闭粗抽阀，做保压测试。
④泵内压力从40Pa上升至45Pa的时间若少于5分钟，则重复步骤2、3。
⑤在满足步骤4的情况下,再一次将泵粗抽至40Pa以下,关闭粗抽阀。
⑥启动压缩机，低温真空泵开始运转。
①关闭主阀，并停止低温真空泵。
②启动再生用加热带,开启氮气导入阀,导入氮气。
③当一级、二级温度达到300K时,停止氮气导入,升温完成。
④进行泵内粗抽,并保压测试。若保压不合格则重复步骤2、3,直到合格为止。
⑤断开加热带，并按照规定流程启动低温真空泵。
⑥二级温度降至20K时，降温完成，再生结束。
应用领域：
| 蒸发镀膜设备 | 半导体制造设备 | 空间模拟设备 |
| 溅射镀膜设备 | 分子束外延设备 | 表面分析设备 |
| 离子注入设备 | 加速器束流管 | 高能物理研究装置 |
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