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HON-He/Ar/Ne/Xe-X系列惰性气体纯化器品牌
科立恩产地
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| 系列 Series | 杂质 Impurity | 入口 Inlet(ppm) | 出口 Outlet(ppb) | 
| HON- He/Ar/Ne/Xe -X | O2 | <3 | <1 | 
| N2 | <1 | <1 | |
| H2 | <1 | <1 | |
| CO | <1 | <1 | |
| CO2 | <1 | <1 | |
| THC | <1 | <1 | |
| H2O | <3 | <1 | |
| PARTICLES | -- | ≤10pcs/m3, 0.003μm | |
| Pressure Drop | <1bar | ||
| Flow | 10~500Nm3/h | ||
| 系列 Series | 杂质 Impurity | 入口 Inlet(ppm) | 出口 Outlet(ppb) | 
| HON- He/Ar/Ne/Xe -X | O2 | <3 | <1 | 
| N2 | <1 | <1 | |
| H2 | <1 | <1 | |
| CO | <1 | <1 | |
| CO2 | <1 | <1 | |
| THC | <1 | <1 | |
| H2O | <3 | <1 | |
| PARTICLES | -- | ≤10pcs/m3, 0.003μm | |
| Pressure Drop | <1bar | ||
| Flow | 10~500Nm3/h | ||
| 系列 Series | 杂质 Impurity | 入口 Inlet(ppm) | 出口 Outlet(ppb) | 
| HON- He/Ar/Ne/Xe -X | O2 | <3 | <1 | 
| N2 | <1 | <1 | |
| H2 | <1 | <1 | |
| CO | <1 | <1 | |
| CO2 | <1 | <1 | |
| THC | <1 | <1 | |
| H2O | <3 | <1 | |
| PARTICLES | -- | ≤10pcs/m3, 0.003μm | |
| Pressure Drop | <1bar | ||
| Flow | 10~500Nm3/h | ||
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