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高精度二维晶体定向仪利用X射线衍射(XRD)原理, 通过测量晶体绕法线转动到不同方位角的Bragg角变化,反演局部晶体表面与镜面夹角△θ,并通过二维扫描实现对整个晶体面△θ的描绘,*终实现二维，晶体面型误差的检测。
●结构紧凑，集成度高
●可进行系统集成服务
●具有空间分辨，实现二维检测
●软件界面友好，人机交互性强
●通过几何关系反演，精度高
●不依赖标准晶片标定0位，减少系统误差
| 光源 | 1.2kWX射线光管，靶材可订制 |
| 探测器 | 强度探测器(点探) |
| **晶体口径 | Φ150mm |
| 面形检测精度 | 0.01° |
| 二维扫描分辨率 | 0.1mm |
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