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坩埚装料一体机
产品介绍
坩埚装料一体机包含坩埚装料模组、坩埚搬运模组、开盖模组、双层接驳位、坩埚线边库等部分,可实现*多四种硅料不同重量的装埚作业,**可兼容40寸坩埚,降低人工作业的强度,改善装料环境。
产品特点
坩埚线边库可实现提前备料,采用垛机自动出入库;
双层对接线体采用双工位设计,一用一备,节省换料时间;
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