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设备采用电阻加热及热场结构,温场均匀、稳定。内壁氩弧焊接,内表面镜面抛光,反射热量,减少功率损耗,减少气体附着。自主研发控制系统,实现自动化稳定、安全、操作便捷。
| 技术参数 | |
| 生长工艺 | PVT | 
| 生长尺寸 | 6-8英寸 | 
| 产品类型 | 非标定制 | 
| 加热方式 | 电阻式加热 | 
| **温度 | 2400℃ | 
| 系统停泵关机12小时后真空度 | ≤3Pa | 
| 控制方式 | PLC集成控制 | 
| 系统极限真空度 | ≤5.5×10-5 Pa (经烘烤除气后) | 
| 系统真空检漏漏率 | ≤5.0×10-7 Pa.l/S | 
| 冷却方式 | 循环水路系统 | 
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