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低脉动
独特的系统驱动机制，确保气囊**运动效果，将脉动减到*低。
减低压缩空气消耗量
在不影响泵的性能下，减少高达30%的压缩空气消耗量。
高持续压力
**的气囊运动，有效提高压力的承受能力，以维持稳定的流量和负载频繁变化下的吐出压力，
尤其在单晶圆处理过程中。
无需阻尼器
泵的运作无需使用阻尼器，节省设备空间及安装费用，例如氟塑料接管等。
整体设备的重量/尺寸得以*小化。
FLP-60W | FLP-75W | |||||
**吐出量 | 50 | 92 | ||||
**脉动范围 | 0.06 MPa | |||||
液体温度范围 | 5-100°C | 101-150°C | 150-180°C | 5-100°C | 101-150° | 150-180°C |
**液体粘度 | 50 mPa・s | |||||
吸程 | 1 m | |||||
环境温度/湿度 | 0~40°C (非冷凝)/ 30~60°C (非冷凝) | 0~60°C (非冷凝) / 30~60°C (非冷凝) | ||||
储存温度/湿度 | -10~60°C (非冷凝) / 20-70°C (非冷凝) | |||||
重量 | 22 kg | 42 kg | ||||
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