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拉晶过程全程自动化
在惰性气体环境中,用石墨加热器将硅材料熔化,
用直拉法生长无位错单晶的设备。
性能优势
大直径设计结构:匹配大直径单晶硅棒生长所需空间。
可采用连续加料装置。
采用超低碳不锈钢材料,结构稳定。
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