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利用半导体材料压阻效应原理,采用先进的离子注入工艺和微机械加工工艺,制成了具有惠斯顿电桥和精密力学结构的硅敏感元件,结合半导体封装工艺制作而成的一体化压力感测元件。宽温区的隔离封装、订制型的接口外形,精密的温度补偿和线性调理,实现对介质压力的精确测量。
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