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一、技术参数：
1、处理气量：≤1-4Nm3/h
2、原料气纯度：≥99.9％
3、纯化后符合并高于GB/T4842-2006的99.9999%要求
各项指标如下、
H2≤0.1ppm
O2≤0.1.ppm
N2≤0.1.ppm
含碳量≤1.ppm
露点 1.ppm
4、出口压力：0.05～0.8Mpa可调
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