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BF33玻璃是一种高品质的硼硅玻璃。具有合适的热膨胀系数、出色的表面平整度、透明度等材料特性以及良好的光学性能，这些正符合高速激光解键合工艺的特殊要求。在晶圆减薄工艺中，BF33玻璃晶圆性能，可用于阳极键合或作为载体晶圆。中慧芯提供4英寸、6英寸等规格的BF33玻璃片：
| 英寸 | 直径/mm | 抛面 | 厚度 | 备注 |
| 4寸 | 100±0.3 | 双抛 | 500±10 | BF33玻璃片 |
| 6寸 | 150±0.3 | 双抛 | 300，500 |
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