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12寸全自动碱腐蚀机
1）： 适用于6-12英寸的硅片腐蚀清洗功能
2）： 去边规格0.4-1.5mm,去边精度±0.1mm，特殊规格支持定制；
3）： 设备包含FOUP LoadPort,Pre-Aligner,WTR机械手,机械模组，Buffer位，刻蚀槽，水洗槽，甩干位，储酸槽；
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