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SIC全自动预清洗机
1）： 适用SIC衬底片的预清洗，可兼容4寸、6寸、8寸规格
2）： 全自动控制，高速机械手，保证设备运行平稳，定位可靠
3）： 设备外观大气、结构紧凑
4）： 外形采用特殊设计，提高设备防腐性能，延长设备使用寿命；
5）： 人性化的操作界面，配合PLC控制操作，使用起来更为简便。
6）： 采用10.4′触摸屏操作界面，PLC控制。自动配补液，保证了操作的安全稳定性；
7）： 可满足客户多种工艺及产能的定制化需求。
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