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l 适用于GaAs EPI外延片
l 具备AOI、OCR等功能
l 兼容4 inch和6 inch晶圆
l 自研光学镜头: FOV ~15.6mm
l 缺陷检测空间分辨率：1.3μm x 1.3μm
l Review复查分辨率： 0.19μm x 0.19μm
l 缺陷检出率 ≥ 98%
l 缺陷误检率 ≤ 2%
l 缺陷重复性 > 95%
l 镭刻码OCR识别率 ≥ 99.9%（选配）
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