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HYDROGEN-2L/4L/6L CVD(MOCVD)专用氢气发生器技术参数：
| 氢气纯度 | 99.9999-99.99999% |
| 氢气流量 | 1L-17L/min |
| 输出压力 | 0-80psi（约0.5MPa） |
| 压力稳定性 | < 0.001MPa |
| 供电电源 | 220V±10% 50HZ |
| 消耗功率 | 8kw(HYDROGEN-17L) |
| 纯水需求 | ＞2MΩ&1L/h |
| 氢气容积 | ＜20L(HYDROGEN-17L) |
| 环境温度 | 1-40℃ |
| 相对湿度 | <85% |
| 海拔高度 | ＜2000米 |
| 外形尺寸 | 80x90x100（WxDxH cm）(HYDROGEN-17L) |
| 净重 | 约200kg(HYDROGEN-17L) |
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