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纯化系统采用化学反应与物理吸附相结合的方法在常温下将工艺气体中的H20,02,CO,CO2,NMHCH2等杂质去除到1ppb以下，可配置过滤精度为0.003微米的颗粒过滤器。电控部分主要由PLC、温度控制器和触摸屏等所组成负责控制系统的纯化、再生和安全报警等过程，确保纯化系统能够持续安全稳定地运行。
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