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HMPS-2080SP微波等离子体CVD设备品牌
和瑞微波产地
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◆微波反应腔新型设计，功率密度大。
◆产品沉积速率快、沉积质量高。
◆开关型微波电源，微波输出稳定性高。
◆适合光学、电子、工具级金刚石膜或单晶、石墨烯等的沉积，材质表面处理、低温氧化物的生长等。
◆性能先进，安全、可靠性强、重现性好，操作简便。
◆多参数实时监测、采集与记录，PLC屏幕控制，多重联锁保护。
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