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离子刻蚀（抛光/研磨/截面）仪品牌
艾博智业产地
北京样本
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技术参数：
1、真空度：极限真空度5*10-3Pa （不通氩气）；
2、*高压：（1）100~10000V；
3、样品台可旋转；
4、具有自保护功能；
5、双离子枪可独立控制；
6、样品冷却：半导体冷却（ 选配件）。
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