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(1)普通样品台:样品直径:Ф3角度:7°~ 士90°(可旋转、摆动)
角度:士2°~ ±90°
(2)抛光样品台:样品直径:Ф3
(3)扫描用样品台:样品直径:中28(选配件)
可使用不同靶极材料就地为TEM和SEM样品镀膜(选配件)
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