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主要技术参数:研磨抛光**晶圆尺寸6英寸;盘速5-100rpm;
滴料1-100m1/min均匀可调;双蠕动泵供料;
摆臂摆动幅度0-15度可调;摆臂摆动速度均匀可调;全液晶屏控制。
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