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石墨坩埚断裂原因包括以下三点:
加工缺陷。 这类原因造成的坩埚断裂后表现一般是从接缝处开裂,然后蔓延开。通常是沿垂直方向裂开。这类问题发生后比较容易发现,因为实在是太明显了。造成这类问题的原因主要是接缝过渡的角度(一般是105°或者115°)在相交点部分,没有采用倒圆角缓冲,加之加工过程中刀尖部分对埚体的微观撕裂,以及使用过程中坩埚本身的应力,造成开裂。
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