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规格＆应用:
-8英寸真空低噪音卡盘.
-X，Y转台：行程200mm x 200mm， 分辨率：5um
-定位器：微型定位器主体单元 PB100.
真空底座分辨率，1um 行程：13mm.
-CCD Camera: 2. 1M Pixel ，30 Fraim
-选项：暗箱；振动台；热夹头；Seebeck效应加热探头 等........
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