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ADC100直流放弧探测器
ADC100直流放弧探测器

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  • 监测直流电源的电压及功率传输
  • 高速采样频率，可达10万赫兹

应用：

  • 用于探测半导体，平板显示器及太阳能等行业PVD腔体工艺制程过程中等离子体放弧（Arcing）。

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