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主要特征：
? **高通量聚焦离子束（FIB）加工系统
? 紧凑式设计以便灵活布局-安装空间减少20%
? 低加速电压时出色的性能
? 快速寻找观察位置的平台系统
主要规格：
离子源：Ga（镓）液态金属离子源
图像分辨率：5nm
束电流：**至60 nA
加速电压：1～30Kv
放大倍率：×60 （用于视场搜索）×200～×300，000
图片获取：平台搜索（可选）
样品台1（标准）：5轴马达驱动样品台
样品台2（可选）：侧插式测角样品台
沉积物：**个GIS装置
碳、钨、铂
装置：主要部件+操作台
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