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LASEA扫描振镜:LS-SCAN
— 高速度、高加速度扫描振镜
LS-SCAN是LASEA独有的高速度、高加速度扫描振镜,采用**技术,专业用于激光微纳加工和高精度打标等应用。
传统标刻应用需要高扫描速度,同时需要精度在30μm左右,微纳加工需要高扫描速度以防止热量累积,但是精度更为重要,而且,加工图案通常有更多的细节,需要不断的加速。
LS-Scan振镜技术,基于平动线圈马达,不同于传统的移动磁铁技术。动圈设计比移动磁铁更轻,且动圈的耗电量比移动磁铁的少5倍,LS-Scan振镜利用此技术大大降低了热漂移,且加速斜坡比传统使用移动磁铁技术的振镜小20%。正是由于这些优异的性能,才可以使用更高的激光功率而不会降低加工精度,同时也大大提高加工效率。
LS-Scan镜所有的主要电子控制部件都集成在LASEA的控制机架,进一步增加了LS-Scan的热稳定性。振镜马达很容易地连接到机架上,机架通过以太网接口连接到电脑。所有输入和输出很容易从机架后面板访问。整个过程是由LASEA的KYLA™软件驱动的,这是一个完整的微纳加工软件,能够与多个平台、CCD和激光器通信。
每个LS-Scan马达都与可固定在导轨上的控制卡连接,控制卡通过以太网接口连接电脑。工艺过程通过KYLA软件控制,KYLA软件是一个全功能微纳加工软件,可以同时实现振镜、多个平台、影像系统(相机)和激光器之间的通讯。另外,使用标准的XY2-100协议可以兼容外部的控制卡和软件。
主要特点:
- 高加速度
- 高精度
- 低热漂移
- 可选3D功能
- 易于连接的KYLA微纳加工软件
- XY2-100协议兼容
主要规格
振镜尺寸
聚擘国际贸易(上海)有限公司/聚嵘科技股份有限公司,专业从事半导体封装及测试、LED封装测试、太阳能、SMT、飞秒激光等相关设备与材料的销售及售后服务,并提供芯片安全激光错误注入解决方案及飞秒激光应用及相关解决方案。公司总部位于上海,在深圳、北京、西安设有办事处。
聚擘国际贸易(上海)有限公司是 法国Amplitude公司 、比利时NextScan Technology公司 、 法国ALPhANOV光学与激光技术中心、比利时LASEA公司、德国NOVAE公司、德国Pulsar Photonics公司 在中国的总代理,公司设有专业的飞秒精密微纳加工实验室,拥有专业的前沿激光微纳加工应用开发及技术支持团队,提供超快激光器及相关应用的解决方案。助您在高端应用、微加工领域及材料研究领域一臂之力。
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