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样品传输系统为模块式，便于组合
用途
● 提高各种材料的粘接性、表面改质处理
● 清洗各类基板。
● 电子部品、材料表面改质。
● 去除有机物和自然氧化膜。
特点
● 体积小，节省空间。
● 选用小型腔体，反应效率高。
● 更容易嵌入生产线使用。
● 可通过操作面板自由切换等离子模式。
● 配备冷却反应台。
内槽
技术规格
型号 | YSP600U | YSP2KU |
模式 | RIE（DP模式选购） | |
高频输功率 | 600W | 2000W |
反应台尺寸 | W300×D300mm | W600×D600mm |
反应气体 | 2进气系统（氧气、氩气） | |
反应气体流量控制 | 质量流量控制器 | |
气体导入口 | 反应气体2个、填充气体1个、空气1个 | |
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