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特点
共聚焦三维表面轮廓仪具有光学形貌上超高的横向分辨率，附有5百万自动分辨率的CCD相机， 空间下样可调至0.05um，是表面特征以及形貌的测量的理想配置。
技术参数
| 项 目 简 述 | 参数说明 |
| 共聚焦三维表面轮廓仪 | l可快速垂直扫描的旋转盘共焦技术 l具有光学形貌上超高的横向分辨率，附有5百万自动分辨率的CCD相机， 空间下样可调至0.05um，是表面特征以及形貌的测量的理想配置 l在测量表面粗糙度/表面反射率上无限制 l应用于透明层/薄膜 l兼容亮视野&暗视野; 光学DIC l长距离远摄镜头是用以测量高纵横比以及坡度特性的理想之选 l高稳定性 |
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