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产品简介:椭偏在线监测装备针对LCD、OLED等新型平板显示量光学薄膜质量控制需要,专门设计的在线薄膜测量系统。可适用于空气、N2、真空等环境条件,自动实现玻璃基板上各种膜系结构厚度分布、光学常数分布的全片快速扫描测量。椭偏在线监测装备广泛应用于工业中新型光电器件行业所涉及的PI配向膜、光刻胶薄膜、ITO薄膜、有机发光薄膜、有机/无机封装薄膜大基片各种膜系结构厚度分布、光学常数分布的在线式全片快速扫描测量。
产品型号  | PMS 椭偏在线监测装备  | |||
主要特点  | 1、支持产线大基片自定义多点扫描测量并输出报告 2、支持**193-2500nm全波段分析测量 3、支持多椭偏方案,多组合集成 4、支持测头模块以及样件机台定制化  | |||
技术参数  | 测头规格  | 穆勒矩阵椭偏测头  | 光谱椭偏测头  | 反射膜厚测头  | 
自动化程度  | 可变/固定角+ mapping  | 可变/固定角+ mapping  | 垂直角+ mapping  | |
应用定位  | 高阶高精度型  | 高精度型  | 通用型  | |
单次测量时间  | 0.5-5s  | 小于1s  | ||
分析光谱  | 380-1000m(支持扩展至193-2500nm)  | 380-1100nm  | ||
Mapping行程  | 支持行程定制化  | |||
支持样件尺寸  | 安需定制化  | |||
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