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ContourGT表面计量系列产品
用于生产和研发的非接触式三维光学轮廓仪
30年技术革新,实现非接触式表面测量技术高峰
多核处理器下运行的Vision64™ 软件,大大提高三维表面测量和分析速度
测量硬件的独特设计增强生产环境中的可靠性和重复性
高度直观的用户界面,拥有业界*强的操作简便和分析功能强大
我们的干涉仪是世界上**个包含了**的垂直扫描干涉技术(VSI模式),扫描头倾斜调整,**的自动校准和双LED照明等革新技术。
ContourGT系列既结合了这些已被证实的设计功能,又在硬件上进行了大量的改进,从而给用户提供了目前世界上*精确的、重复性**的光学轮廓仪性能。 Bruker的光学轮廓仪具有已被证实的,将近三十年的优越性能运行跟踪记录,从研究型实验室到生产型工厂的上万台安装记录。
ContourGT-X光学轮廓仪配备有一体式的气动平台和双层金属铸件,此两种设计都是为了隔离震动以避免干扰测量效果,从而获得快速、精确的、可通过GRR测试的测量结果。
OMM结合了Bruker**的双LED照明光源技术,在任何样品任意放大倍数下均可提供**的照明强度和均匀性。OMM还能在整个10mm测量量程内提供无以伦比的准确性和可重复性。马达驱动的多放大倍率检测器可包含**三个视场目镜,以**化放大倍率的灵活性和稳定性。
ContourGT系列可选择型号中,具有包含Bruker**技术的内置一级标准自校准功能的能力,使得闭环扫描的性能**化。此模块包含一个参考信号,在仪器启动时对系统进行自校准,然后连续监控并校正每次测量,以保证**的精确度和**的重复性。
Bruker的倾斜调整支架设计可使得OMM倾斜,而不是样品倾斜。这样,被测量的样品将总处于聚焦位置,并且在测量的视野中,确保了操作的一致性和简易性。
*这些选项仅在ContourGT-X3和/ContourGT X8型号上具有。
在ContourGT-X型号中具有全自动的8英寸或12英寸样品台。两种样品台均配备有0.5um重复性的编码器。ContourGT-K1型具有可选的6英寸马达驱动样品台。还可选配具有Z方向聚焦旋钮的XY操纵杆。
选配的马达驱动塔台可安装*多4个干涉物镜,从1倍至100倍。塔台设计确保了当您切换物镜时,您的测试点始终处于聚焦和中心位置。
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