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1.充气压力:≤0.05MPa 2.升压率:< 4Pa/h 3.炉体:双层水冷结构、304 不锈钢材质。 4.复合真空计测量范围:1.0×10 5 ~1.0×10 5 5.前级机械泵型号:BSV60 抽速:16L/S
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