温控精度：
0.1-2.5pa最高温度：
1600额定温度：
1350非金属电热元件：
其他金属电热元件：
其他烧结气氛：
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设备名称：双料室气相沉积实验炉
应用领域：氧化亚硅等多种原材料气相沉积实验
工艺描述：双料室装料，归中反应，气相沉积制粉
| 型号 | 装料尺寸 | 装载量 | 工作温度 | 极限温度 | 真空度 | 总功率 | 气氛类别 | 工序时长 | 设备重量 |
| MGB20-60HH | Φ200*600 | 0.04M | 1350℃ | 1600℃ | 0.1-2.5Pa | 90KW | Ar/N2 | 24 | 3T |
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