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该系列真空泵可单独使用,亦可作为增压泵、扩散泵、分子泵及钛泵的前级泵使用,设有气镇阀时,可抽送适量的可凝性气体、湿空气或气水混合气体,但介质中不能含有颗粒状固体物质。
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