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特点:
★ 采用IGBT中频感应电源
★ 采用石英或高纯石墨坩埚
★ 采用高纯石墨和高等级硬质碳毡
★ 采用伺服控制下拉定向凝固
★ 伺服控制范围为0.03mm-3mm/min
★ 定向凝固速率:0.1mm-0.5mm/Min
技术参数:
型号 Model | 有效区尺寸 ( mm ) | 装炉量 (Kg ) | **温度 (℃) | 均温性 (±℃) | 极限压力 ( Pa ) | 压升率 (Pa/h) | 充气压力 ( bar ) |
HZG-55 | φ500X500 | 80 | 1600 / 2000 | 5 | 4.0 E -1 / 6.7 E -2 | 0.67 | 0.8 |
HZG-75 | φ700X500 | 100 | |||||
HZG-95 | φ900X500 | 240 |
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