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广泛应用于面板、太阳能、冶金系统、镀膜、电浆制程、干燥处理、制程气体抽取、制程气体抽取、生技/制药、化工产业。
排气路径短，减少反应物沉积
线型密封性佳，泵浦性能优
结构简单，故障率低，维修容易
微电脑操作，远端监控，保护周全
500-1500m3/h(50Hz)
600-1800m3/h(60Hz)
1X10-3mbar
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