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FF-63/80J三流口分子泵
性能特点>>
●高洁净度
●免维护
●驱动器- -体化
●转速可调
●更高的前级耐压
●整体型复合转子
●低振动
●新型电机驱动技术
●任意角度安装
●节能
应用领域>>
●真空制造
●表面分析
●半导体
●光电器件检漏
●电子元件
●航空航天


●高洁净度
●免维护
●驱动器- -体化
●转速可调
●更高的前级耐压
●整体型复合转子
●低振动
●新型电机驱动技术
●任意角度安装
●节能
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