参考价格
面议型号
HCVD-060609-SIC品牌
顶立科技产地
湖南样本
暂无非金属电热元件：
其他金属电热元件：
其他烧结气氛：
真空温控精度：
±7.5~±10最高温度：
1500额定温度：
1500看了卧式化学气相沉积炉（SiC、BN）的用户又看了
留言询价
电话询价
虚拟号将在 180 秒后失效
使用微信扫码拨号
卧式化学气相沉积炉（SiC、BN）
产品描述：
卧式化学气相沉积炉（SiC、BN）可用于材料的表面涂层、基体改性、复合材料制备等
应用范围：
外延片基座、晶体炉高温耐材、热弯模具、半导体坩埚、陶瓷基复合材料等
采用先进的控制技术，能精密控制MTS的流量和压力，炉膛内沉积气流稳定，压力波动范围小；
全密闭沉积室，密封效果好，抗污染能力强；
多通道工艺气路，流场均匀，无沉积死角，沉积效果好；
多级高效尾气处理系统，能有效处理高腐蚀性尾气、易燃易爆气体、固体粉尘及低熔点粘性产物，环境友好；
可选配新设计的防腐蚀真空机组，持续工作时间长，维修率极低；
使用工艺气氛：真空/CH4/H2/N2/Ar/BCI3/NH3/MTS。
| 参数\型号 | HCVD-060609-SIC | HCVD-101015-SIC | VCVD-121220-SIC | HCVD-151530-SIC | HCVD-252035-SIC |
| 工作区尺寸W×H×L（mm） | 600×600×900 | 1000×1000×1500 | 1200×1200×2000 | 1500×1500×3000 | 2500×2000×3500 |
| **温度（℃） | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 |
| 温度均匀性（℃） | ±7.5 | ±7.5 | ±10 | ±10 | ±10 |
| 极限真空度（Pa） | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 |
| 压升率（Pa/h） | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 |
| 加热方式 | 电阻 | 电阻 | 电阻 | 电阻 | 电阻 |
以上参数可根据工艺要求进行调整，不作为验收依据，具体以技术方案和协议为准。
结构形式：卧式-单开门/双开门；立式-上出料/下出料
炉门锁紧方式：手动/自动
炉壳材质：内层不锈钢/全不锈钢
保温材质：碳毡/石墨毡/碳纤维固化毡/陶瓷纤维毡
加热器、马弗材质：石墨/CFC/金属
热电偶：K/N/C/S分度号
真空泵：机械泵组/耐腐蚀泵组
暂无数据！
10月30日上午，顶立科技特种装备研发基地项目举行隆重的开工活动。长沙经开区党工委副书记、管委会主任蒋红波，区党工委委员、管委会副主任赖坤明，以及投资促进局、经济发展局、规划建设局等单位主要负责人亲临
近日，2025年中国机械工业科学技术奖获奖名单正式公布。顶立科技参与编写的《真空低压渗碳高压气淬热处理技术标准和装备研制及应用》荣获科技进步二等奖。“机械工业科学技术奖”由中国机械工业联合会、中国机械
2025年10月22日，由北京工业大学、中国科学院广州能源研究所、井冈山大学、北京师范大学、湖南顶立科技股份有限公司等单位联合在国际高水平期刊《Nature》刊发了题为《A circular econ
所谓复合材料是指由两种或两种以上的组分材料，运用一定的工艺技术制备组合而成的多相新材料体系，其综合性能优于各自组分材料。先进复合材料指用高性能增强体如碳纤维、芳纶等高性能耐热高聚物构成的复合材料，包括
卧式化学气相沉积炉（SiC、BN）的工作原理介绍？卧式化学气相沉积炉（SiC、BN）的使用方法？卧式化学气相沉积炉（SiC、BN）多少钱一台？卧式化学气相沉积炉（SiC、BN）使用的注意事项卧式化学气相沉积炉（SiC、BN）的说明书有吗？卧式化学气相沉积炉（SiC、BN）的操作规程有吗？卧式化学气相沉积炉（SiC、BN）的报价含票含运费吗？卧式化学气相沉积炉（SiC、BN）有现货吗？卧式化学气相沉积炉（SiC、BN）包安装吗？
手机版：
工商已核实
