中国粉体网讯
INNOMETRY与韩国JWMT携手共同推进TGV技术商用化
INNOMETRY与半导体玻璃加工配件企业JWMT签订战略技术协议，将共同开发玻璃基板事业并展开合作。
NNOMETRY是锂电池X射线（CT）检测设备领先企业，能通过非破坏方式检测电池内部不良、预防火灾，技术和市场占有率居世界前列。借此合作，INNOMETRY正式进军电子/半导体检测领域，计划通过此次合作提升半导体玻璃基板核心技术TGV用非破坏性检测设备的精密度。
苏科斯半导体第五批TGV设备顺利出货！
苏科斯半导体设备科技有限公司第五批TGV电镀设备顺利完成生产并交付客户。这是继第四批设备成功出货后，公司在先进封装设备领域的又一重要里程碑，标志着苏科斯半导体在TGV设备量产能力和技术成熟度上均达到行业领先水平。苏科斯本次出货的第五批设备依然采用510mm×515mm大尺寸板级TGV电镀技术，相比传统小尺寸基板，大尺寸板级TGV技术能够显著提高生产效率，降低单位生产成本，同时提升封装密度和性能，能满足新一代半导体器件对先进封装技术的需求。
国产首创！中研赢创大幅面TGV100纳米气浮运动平台交付
中研赢创此次成功交付的TGV100纳米气浮运动平台集成了公司在精密机械设计、高精度直驱电机、纳米气浮平台、运控算法等核心技术的深厚积累，具备以下显著优势：
革命性的大幅面设计：有效突破了传统半导体设备加工12英寸晶圆幅面的限制，能够满足日益增长的大尺寸玻璃基板加工需求，显著提升单次加工效率和整体生产良率。
卓越的纳米级精度：核心采用高性能直线电机、超精密气浮导轨和高分辨率光栅编码器，结合先进的闭环控制算法，实现了运动定位精度及重复定位精度稳定达到亚100纳米级。
卓越稳定性：通过创新性的机械结构设计和先进的主动/被动振动抑制技术，平台在高速、高加速度运动状态下仍能保持极高的刚性和稳定性，能够适应半导体工厂严苛的振动环境要求，保证长时间连续加工的可靠性。
智能化集成：平台具备完善的软件接口与数据交互能力，可无缝集成于客户自动化生产线，实现智能化控制与工艺监控。
洪镭光学获TGV直写光刻机订单
洪镭光学凭借先进光刻技术和专业团队，拿到TGV领域国内重要客户的直写光刻机订单，成行业内首家进入该领域的企业。
这次合作是洪镭光学在半导体先进封装光刻领域的重要布局。目前公司已有三款微纳直写光刻设备，覆盖线路板、玻璃基板等领域，均获头部客户订单。
帝尔激光：面板级玻璃基板通孔设备已经完成出货
近日，帝尔激光在投资者互动平台表示，公司持续聚焦主营业务的同时积极向消费电子、新型显示和集成电路等领域开拓。公司应用于半导体芯片封装、显示芯片封装等领域的TGV设备，已经完成面板级玻璃基板通孔设备的出货，实现了晶圆级和面板级TGV封装激光技术的全面覆盖。
帝尔激光主要聚焦于“激光诱导改质+化学蚀刻”的方式，在玻璃内部形成巨量通孔结构，为后续的金属化工艺实现提供条件，主要应用场景包括玻璃封装基板、MircoLED基板、IPD集成无源器件、MEMS转接板、微流控器件、其他玻璃微结构等，支持石英、硼硅、钠钙、铝硅等多种不同玻璃材质，可根据需求在基板上实现圆孔、方孔、埋孔、通孔以及微槽等多形态工艺。
参考来源:
中研赢创、帝尔激光、洪镭光学、苏科斯半导体、INNOMETRY官网
华安证券《帝尔激光业绩稳健增长，光伏激光设备竞争力凸显，封装设备不断突破》
(中国粉体网编辑整理/月明)
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