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光学缺陷检测设备——WSD系列品牌
睿励科学产地
上海样本
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WSD系列产品是睿励科学仪器(上海)有限公司自主研发、生产的全自动晶圆外观缺陷检测设备。
设备的基本检测原理是利用光学系统成像、通过图像分析的方式来捕抓并分类各种晶圆表面的缺陷。
该系列产品包括WSD200、WSD300、WSD220、WSD320等多型号产品，
适用于集成电路制造、化合物半导体等领域。
主要特点：
l 支持6/8/12吋wafer
l 可定制化兼容Frame产品
l 支持透明/非透明衬底片检测
l 可检测缺陷类型:颗粒、污染、图形缺少、划伤、图形黏连、残留等
l 具备晶圆全表面检测、自动缺陷检测分类以及高分辨率的缺陷复查功能
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