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碳化硅衬底的优点包括:
1、高温、高压、高频、大功率应用:碳化硅具有较高的热导率、击穿电场强度和饱和电子漂移速率,使其成为制作高温、高压、高频、大功率器件的理想材料。
2、优异的材料属性:碳化硅衬底具有宽禁带、高电阻率、高热导率等特性,这些特性使其在微波电子、电力电子等领域具有显著优势。
3、广泛的应用场景:碳化硅衬底分为半绝缘型和导电型两种,分别适用于射频器件和功率器件,广泛应用于5G通讯、国防**、电动汽车等领域。
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