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规格＆应用：
-8英寸卡盘，低漏泄电流-不超过50fA.
-X/Y轴行程 100 x 100mm，分辨率5um 旋转型.
-Z轴 上下10mm，分辨率 1um.
-显微镜＆CCD摄像机
-针座＆探针支架
-选项：暗箱，防震台，热夹头等.......
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