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紧凑型波前传感器
SID4波前传感器是一款结构紧凑的设备，它结合并实现了经典干涉法的优势(灵敏度、高分辨率和动态范围测量法)。
SID4的优势源自四波横向剪切干涉技术*(基于优化的哈特曼掩膜干涉光学)，它是ONERA为了计量需求研发的一种革新技术。
主要特点
• 高横面分辨率(160x120)
• 消色差
• 接收大光谱
• 强度截面测量(光束图)
• 结构紧凑易于使用(电脑控制，即插即用)
• 多用户，多设备接口
• 易于安装，使用软件简易
• 多种采样方式(即时，触发，软件采样等)
软件特点
相位图解释模块
• 倾斜
• 分散
• Zernike多项式
• Legendre多项式
射束分割
• 同时提供相位图和强度图
• 计算M²
• 斯太尔率
• 远场分析符
光束图模块窗口
符合人体工程学原理
• 软件直观
• 多用户界面
• 自动分析调整
光束图 (可选配)
• 完整射束分割
• 强度分布
• 高斯拟合
参数
孔径 | 3.6 x 4.8 mm² |
空间分辨率 | 29.6?um |
相位和强度采样点 | 160 x 120 (> 19000点) |
波长 | 350 - 1100 nm |
精度(**/相关模式) | 10 nm RMS / 3 nm RMS |
灵敏度 | 3 nm RMS |
动态范围 | > 100?um |
曲率半径 | 20 mm (可选5mm) |
曲率重复性 | 5. 10 m |
数值孔径 | 0.1NA f/5 (可选0.3 NA f/1.6) |
分割率 (全分辨率) | > 10 fps |
采样频率 | 60 fps |
尺寸(l x H x L) | 49 x 35 x 110 mm |
重量 | 250 g |
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