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等离子体热处理炉为德国生产，具有等离子清洗、表面处理、材料表面修饰、材料热处理的功能。
仪器特点及基本参数：
具有等离子体清洗、表面修饰、表面处理、表面活化的功能；
具有真空能力(10-5mbar)；
芯片倒装凸点(Bump)；
凸点焊接；
键合；
功率器件焊接；
样品尺寸：170X200mm，或300x300mm；
温度：650摄氏度；
24支红外灯加热；
2路MFC气路；
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