参考价格
20-30万元型号
1200℃预加热滑动双温区/多温区PECVD系统品牌
中环产地
天津样本
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产品应用:
PECVD系统是借助射频使含有薄膜组成原子的气体电离,在局部形成等离子体,而等离子体化学活性很强,很容易发生反应,在基片上沉积出所期望的薄膜。
产品组成:
PECVD系统配置:
1.1200度开启式双温区真空管式炉
2.滑动系统分为手动、电动滑动,并配置管内测温系统。
3.预加热开启式管式电炉
4.等离子射频电源
5.多路质量流量控制系统
6.真空系统(可选配中真空或高真空)
产品特点:
生长温度低;沉积速率快;成膜质量好,适用范围广,设备简单。
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教授简介王红洁教授,现任西安交通大学材料学院副主任,中国材料研究学会环境材料分会理事,陕西省机械工程学会粉末冶金分会理事。主要研究方向为先进陶瓷及其复合材料、碳/陶梯度材料等。先后主持国家自然科学基金
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