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叠层硅片全自动清边系统
本设备配备高速振镜光学系统,对镀膜硅片四周多余膜层进 行清除,旋转加工平台和视觉对位等系统有效保证设备节拍 和精度,自动上下料结构满足联线量产需求。
兆瓦线、G瓦线等叠层量产客户
设备优势
1、多组上下料花篮缓存结构,设备容错率高;
2、独特设计视觉定位系统,极大提升刻线位置精度;
3、高速振镜光学系统,刻蚀速度高达60m/s,节拍快,产 量高。
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