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纯化指标表
气体类别 | 可纯化气体 | 去除杂质 | 纯化指标 |
D-惰性气体 | N2、Ar、He、Ne、Kr | H₂O、02、CO、CO2、H₂、NMHC | <1ppm |
Y-氧气 | O₂XCDA | H₂O、CO₂、NMHC | |
Q-氢气 | H₂ | H₂O、0₂、CO、CO₂、NMHC |
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