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高纯石墨器件要求高，制备成本较高，制备周期较长，生产工序主要包括原料破碎、煅烧、磨粉、配料、混合、轧辊、磨粉、双面压/等静压、焙烧、浸渍、石墨化、机加工、检验等，其中需要多次焙烧和浸渍。我司提供的高纯石墨部件涵盖了石墨坩埚/石墨发热桶/石墨舟/石墨棒/石墨杆/石墨柱/石墨纸等石墨制品，广泛应用于半导体晶体生长、外延、离子注入、等离子蚀刻等制造工艺中。
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