磨抛盘直径：
-主轴转速：
-单位能耗：
-装机功率（kw）：
-成品细度：
-工作原理：
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系统配置
系统类型:全自动化干燥/干燥晶圆尺寸:150mm或200mm工艺可行·EFEM:2-盒式，传输机器人中间机器人
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