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氧化亚硅烧结炉适用于氧化亚硅等可气相沉积材料大批量生产;温差控制精度高,高温高真空;具备高真空升华,反应,脱脂,脱水,气相沉积材料自动研磨刮料,炉内收集等特殊工艺能力。
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