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针对晶圆表面按客户要求进行多点检测，可快速准确地识别位错信息。
响应速度快
交付有保障
定制化服务
兼容2-8英寸产品尺寸
支持 面阵/线扫 两种功能
适用于多种化合物半导体晶圆
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