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圆形互联设备（外置机械臂、内置机械臂）品牌
致真精密产地
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致真设备还推出了多款互联设备实现多个设备的互联，适用于2~8英寸的晶圆。通过真空泵组搭配可实现晶圆的超高真空传输。
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