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型号：美国CDE ResMap 178
技术参数：
﹡测量尺寸：2~8寸晶圆
﹡测量速度：大于49点/分钟
﹡测量范围：1mΩ sq-1 ~5MΩ sq-1
﹡测量重复性：≤±0.02%
﹡精确度：＜0.1%
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